大氣電漿精密鏡面拋光檢測技術

在先進製程與電子產品多元化的發展下,精密光學應用產業持續擴大,國內廠商持續投入鏡片與模仁精密加工與檢測技術的研究與發展。隨著製程技術不斷提升,精密光學鏡片多道加工成型精度規格日漸嚴苛,傳統的生產加工與離線檢測流程已無法滿足生產需求。為使生產效能與良率提升,本研究透過光干涉量測技術的整合讓五軸加工平台具備智能檢測功能,使加工與檢測流程最佳化,可於精密加工後對鏡片的表面特性進行量測與分析,並回饋數值給予加工系統進行再加工路徑規劃,藉由智慧製造的方式提升加工與檢測效率。

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